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- P-7KLA 探針式臺階儀
KLA P-7 探針式臺階儀是KLA公司的探針式臺階儀系統。KLA P-7 探針式表面輪廓儀建立在P-17臺式探針輪廓分析系統的成功基礎之上。它保持了P-17技術的測量性能，并作為臺式探針輪廓儀平臺提供了性價比。KLA P-7 探針式臺階儀可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達150mm而無需圖像拼接。
- 型號：P-7
- 更新日期：2025-06-25 ￥面議
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- P-170KLA 全自動探針式表面輪廓儀
KLA P-170 全自動探針式表面輪廓儀一款盒對盒型臺階儀，具有KLA P-17 探針式表面輪廓儀的臺式系統測量性能和HRP260系統經生產驗證的處理程序。該系統提供了一個可編程的掃描平臺、低噪音和整個垂直范圍內的亞安格倫電子分辨率，可以在樣品表面的任何地方進行高分辨率掃描。
- 型號：P-170
- 更新日期：2025-06-25 ￥面議
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- P-17KLA 探針式臺階儀
KLA P-17 探針式臺階儀是P系列探針式臺階儀的產品。該系統具備可編程掃描平臺、低噪聲電子分辨率，垂直范圍內實現高分辨率掃描，能夠覆蓋樣品表面整個區域。KLA P-17 探針式臺階儀的優點包括200mm掃描平臺，可以在無需拼接的情況下測量整個基片。UltraLite傳感器組件結合了線性垂直測量和恒定力控制，可測量各種材料和地形。
- 型號：P-17
- 更新日期：2025-06-25 ￥面議
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- D-600KLA 探針式表面輪廓儀
KLA D600 探針式表面輪廓儀采用光學杠桿傳感器技術提供高分辨率、較大的高度測量范圍和準確的微力控制。探針的接觸式測量技術的優點是直接測量，與材料特性無關。多種力度調節和探針尺寸選擇可以讓機臺對各種結構和材料進行準確測量。這些功能可以表征因添加或移除材料而引起的形貌特征改變，以及測量由材料結構改變引起的粗糙度和應力變化。
- 型號：D-600
- 更新日期：2025-06-25 ￥面議
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- D-500KLA 探針式表面輪廓儀
KLA D500 探針式表面輪廓儀的光學杠桿傳感器技術提供高分辨率、較大的高度測量范圍和準確的微力控制。探針的接觸式測量技術的優點是直接測量，與材料特性無關。多種力度調節和探針尺寸選擇可以讓機臺對各種結構和材料進行準確測量。這些功能可以表征因添加或移除材料而引起的形貌特征改變，以及測量由材料結構改變引起的粗糙度和應力變化。
- 型號：D-500
- 更新日期：2025-06-25 ￥面議
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