KLA Zeta-388 光學輪廓儀

KLA Zeta-388 光學輪廓儀產品介紹：

KLA Zeta-388光學輪廓儀是非接觸式三維表面形貌測量系統。該系統在Zeta-300光學輪廓儀的基礎上，增加了用于全自動測量的機械手臂操作系統。Zeta-388光學輪廓儀采用ZDot技術和多模組光學系統，可測量各種不同的樣品：包括透明與不透明、低至高反射率、光滑到粗糙的表面，以及亞納米級到毫米級的臺階高度。KLA Zeta-388光學輪廓儀支持OCR和SECS/GEM，從而可用于全自動產線的生產制造。

KLA Zeta-388 光學輪廓儀產品特點：

• 快速的非接觸式三維光學輪廓儀

• 多模組光學系統提供3D掃描、差分干涉、薄膜厚度和自動缺陷檢測

• 全自動測量

• 同時提取樣品表面的真彩色信息和形貌信息

• 支持100至200mm的晶圓

• 支持OCR和SECS/GEM，適用于自動化產線的生產環境

• 用戶界面簡潔直觀

KLA Zeta-388 光學輪廓儀主要應用：

• 從納米級到毫米級的臺階高度，可用于高深寬比臺階測量

• 從亞納米級至亞毫米級的表面粗糙度分析，適用于光滑表面和粗糙表面

• Z向高分辨率的白光干涉測量，可用于廣域臺階高度測量

• 移相掃描干涉技術可快速測量小于250nm的臺階高度

• 薄膜應力和樣品翹曲測量

• 測量30nm到100μm透明薄膜的厚度，可提供薄膜均勻性數據和薄膜厚度分布圖

• 自動缺陷檢測，可識別橫向尺寸大于1μm的缺陷

KLA Zeta-388 光學輪廓儀產品測量原理：

KLA Zeta-388 光學輪廓儀‌的原理‌是通過共聚焦原理實現樣品的高分辨率、高對比度的光學切片能力。它結合了傳統光學顯微鏡和激光共聚焦顯微鏡的特點，利用寬譜白光作為光源，通過空間濾波機制消除離焦光干擾，從而獲得高精度的三維圖像

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KLA Zeta-388 光學輪廓儀其他應用：

KLA Zeta-388 光學輪廓儀測量圖：