Filmetrics F32 光反射式膜厚儀

Filmetrics F32 光反射式膜厚儀產品介紹：

Filmetrics F32 光反射式膜厚儀特殊的光譜分析系統采用半寬的3u rack- mount底盤，加上附加的分光計，可達到四個不同的位置(EXR和UVX版本至多兩個位置)。F32膜厚儀軟件可以通過數字I/O或主機軟件來控制啟動/停止/復位測量。測量數據可以自動導出到主機軟件中進行統計過程控制。還提供可選的透鏡組件，以便于集成到現有的生產裝置上。

Filmetrics F32 光反射式膜厚儀產品特點優勢：

• 非接觸測量：避免損傷薄膜，適用于脆弱或敏感材料；

• 高精度與寬量程&：垂直分辨率達納米級，可測厚度范圍從1nm至3mm；

• 多場景適用性：基本上所有光滑的、半透明的或低吸收系數的薄膜都可以測量。

• 測量速度快：配置完成后，數秒內即可完成測量。

• 預裝了100多種材料，使得單層和多層薄膜的測量很容易實現

• 提供可選的透鏡組件，以便于集成到現有的生產裝置上。

Filmetrics F32 光反射式膜厚儀產品測量原理：

當入射光穿透不同物質的界面時將會有部分的光被反射，由于光的波動性導致從多個界面的反射光彼此干涉，從而使反射光的多波長光譜產生震蕩的現象。從光譜的震蕩頻率，可以判斷不同界面的距離進而得到材料的厚度（越多的震蕩代表越大的厚度），同時也能得到其他的材料特性如折射率與粗糙度。

Filmetrics F32 光反射式膜厚儀產應用與膜層范例：

薄膜特性：厚度、反射率、透射率、光學常數、均勻性、刻蝕量等

薄膜種類：透明及半透明薄膜，常見如氧化物、聚合物甚至空氣

薄膜狀態：固態、液態和氣態薄膜都可以測量

薄膜結構：單層膜、多層膜；平面、曲面

Filmetrics F32 光反射式膜厚儀產品常見工業應用：

Filmetrics F32 光反射式膜厚儀產品參數：

Filmetrics F32 光反射式膜厚儀測量圖：